亚磷酸在芯片中的作用有哪些？

亚磷酸在水处理、无卤阻燃剂生产、水溶肥的加工中具有广泛的用途。一般电子级亚磷酸对杂质，磷酸盐，硫酸盐的要求很高，那么H3PO3在电子行业，特别是芯片、半导体、晶圆、集成电路等的生产中有哪些作用呢？这恐怕很少有人能听说过。下面我们就亚磷酸在芯片中的清洗作用做详细的原理性分析。

亚磷酸的酸性很强，它含有的OH-和HPO₃²⁻能与金、铜、铁、铝等形成螯合物沉淀下来，避免这些金属离子吸附在硅芯片的表面，而导致芯片的导电率发生变化。涂覆在硅基芯片的表面，经过800℃温度淬火后，磷原子进入硅晶格，形成PSI骨架，实现光电转换。比传统的清洗工艺来说，对硅片表面的损伤更小，有助于提升电池的转换效率。

在半导体芯片的生产中，亚磷酸溶液可以避免铜离子被氧化，保证电镀的平整度和导电性。在电路板刻蚀工艺中，它可以作为还原剂，也可以作为PH值调节剂，可避免相关设备的氧化。在部分HCL+双氧水的清洗配方中，通常加入少量的H3PO3，可使清洗效果发生倍增，具体原因可能是H3PO3，氯化氢，双氧水有一定的协同效果。

总之，亚磷酸在芯片中的作用原理主要是通过其低价磷的还原性，以及磷对其他金属杂质的螯合性，从而来达到其清洗的效果。这里需要特别指出的是，普通工艺的亚磷酸几乎不能在电子封装，半导体生产、芯片生产上使用，因为因为他们的磷酸盐，硫酸盐，重金属，铝，铁，有机质等含量比较高，不仅不能发挥螯合清洗效果，有可能还对设备产生严重的不利影响。